第一台5纳米EUV光刻机运抵蜀都工厂后，随即就开始了安装调试工作🚀，这个过程比较费时间，因为这不是拧几颗螺丝就安装好了的事情，而是需要让这台设备与车架里面的其它设备能够☸有机的结合起来，形成一个完整的流水线。
而且这次他们所采🆐🎬🔊用的也是吴浩他们的智能无人化工厂技术，正常生产制造流程完全的自动化，智能化，无人话，所以各种标准和要求更高。因此，🜾🇰🜊这先期的调试工作自然就非常重要了。
即便是按照调试完成，也不可能立即投入生产，好要🞮进🍎行好几轮的试⛃🗮🟁生产，并根据生产出来的产品进行改进。
尤其是产品的良品率，这是至于芯片生产最大问题。所以想要提升良品率，这需要进行非常漫长的不断调试😓，最终🎧使其能够达到一个理想水平。
除此之外，与晶🙴🎤📅圆🆐🎬🔊厂和芯片制造其它一系列配套产业也要协同发展♑🇯，并且要能够跟得上光刻机的发展脚步。
因为芯片生产不止是🌲🂾🔖一台光刻机的问题，还涉及到了很多流程和工艺，而在这方面，我们国内也是有欠缺的😓。🙂
吴浩他们在启动这个光刻🇮机研制项目后，就开始了对于其它配套产业技术的扶持，并先后注资了好几家关键的配套设备企业。
这些企业在吴浩他们的扶持下，也相继有了成果。只不过相比于光刻机这边的巨大成功，他们的进⛙步还有些不足。不过，就自身乃至国内相关行业来说，这种进步肯定是巨大的。
目前这些企业包括其它的一些行业内的企业在国产光刻机研制成功事情的激励下，正在加紧努🕓🆕力，争取能够早日创造☹🄗出好的成绩。